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流量流量コントロールシステムFC6000

流量コントロールシステム FC6000

FC6000カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

FC6000は高精度超音波流量計を流量センサに採用した分離形の流量コントロールシステムです。
流量コントローラFCA6000シリーズには超音波流量計変換部を内蔵しており、流量センサとコントロール弁の組合せでコンパクトなシステムを構成できます。

 · コントロール弁：FCVシリーズ
 · 超音波流量計検出器：UCUFシリーズ
 · 流量コントローラ：FCA6000シリーズ

流量センサ・コントロール弁のラインナップの充実により広範囲の流量制御が可能です。また、プロセス接続部の流量センサ・コントロール弁と計測・制御部を分離することで、安全性を向上し、自由なレイアウトを可能としています。
半導体プロセスをはじめとする各種薬液の高度な流量管理等に最適です。

特　長

  • · 耐気泡性能、流量計測安定性の向上

    複一般的な超音波流量計は液体中に気泡が含まれると、超音波の受信感度が低下し流量計測が困難になります。FCA6000シリーズは実績のある独自の信号処理技術により、感度が低下した場合でも流量計測を可能にしました。さらに豊富なフィールド経験に基づき異常出力を判別して除外することで耐気泡性能が大幅に向上しています。また、流量計測の安定性も向上しています。

  • · 安全性の向上、自由なレイアウトが可能

    プロセス接続部の流量センサ・コントロール弁と計測制御部を分離することで液漏れなどに対する安全性が向上し、レイアウトも自由に選べます。

  • · 広範囲の流量制御が可能

    FCA6000シリーズは最小2.5～25mL/minから最大 1～10 L/min の流量まで対応できます。

  • · 低消費電力

    FCA6000シリーズは従来機種の変換器より消費電流を削減しました。

  • · CEマーキング

    EU EMC、RoHS2および低電圧指令に対応
    (EMC 適合規格：EN61326-1:2013、EN61326-2-3:2013)

  • · 高耐食

    UCUFシリーズの接液部は極めて耐食性の高いPFAおよびPTFEを採用し、
    半導体産業や薬液を扱う様々な産業での適用が可能です。

主な仕様

コントロール弁

形式 FCV-1000S FCV-3000
口径 Φ3/8”、Φ1/2” Φ1/4”
流量レンジ 最大 10 L/min
最小 200 mL/min		 最大 2 L/min
最小 2.5 mL/min
流体温度 5 ～ 50 ℃
流体圧力 0.3MPa max.
プロセス接続 PTFE、PFAチューブエンド
測定精度 ±1%（流速1m/s以上）
±0.01m/s 以内（流速1m/s未満）

超音波流量計検出器

形式 UCUF-04K UCUF-06K UCUF-10K UCUF-04E UCUF-06E UCUF-04M UCUF-06M
最大流量
レンジ		 3L/min 8L/min 10L/min 3L/min 8L/min 2L/min 8L/min
公称口径 4mm 6mm 10mm 4mm 6mm 4mm 6mm
接続口径 Φ3/8” Φ1/2” Φ3/8” Φ1/4” Φ3/8”
精度 流速 1m/s 以上：指示値の±1%
流速 1m/s 未満：±0.01m/s 以内
流体温度 10 ～ 60℃ 10 ～ 90℃
接液部材質 New PFAチューブエンド PFAチューブエンド
構造 防噴流形（IP65）
接続ケーブル 同軸ケーブル（2 本）　外被材質PVC　長さ5m（標準）

コントローラ

形式 FCA6100 FCA6200 FCA6300
出力信号 流量信号、流量警報、動作警報、パルス出力
入力信号 目標流量、制御開始/停止、積算リセット、センサ
制御精度 流量 >30%FS：目標値の±3%、
流量 ≦ 30%FS：目標値の5%
応答時間3秒以内
表示 バックライト付16 文字・2 段LCD (液晶表示)
警報表示：赤色LED×1
動作表示：緑色LED×1
構造/取付 屋内配線 (IP20相当) / パネル取付
電源 DC24V ±10%