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流量小流量用変換器一体形超音波流量計UCM-04A/06A

小流量用変換器一体形超音波流量計 UCM-04A/06A

UCM-04A/06AカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

UCM-04A/06Aは超純水、各種薬液などの流量を高精度かつ安定して計測できる小口径超音波流量計です。
検出器と変換器を一体にすることにより大幅な小形化、省スペース化を実現、また前面の7 セグメントとLED バーグラフで流量表示されますので現場でも流量確認が可能です。 接液部はすべて成型品の半導体産業向けPFA で構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいシール部もない理想的なクリーン構造で、半導体装置などのクリーン度が要求されるプロセスに最適です。 流量計の入口、出口部は規格寸法のチューブになっており、各種PFA継手への接続が可能です。今まで単純な流量監視のみを行っていたプロセスにも簡単に接続可能です。

特　長

  • · 変換器と検出器が一体構造のため配管、配線が極めて容易
  • · 省スペース
  • · メータ前面の7 セグメント、LED バーグラフで暗い場所でも流量の確認が可能
  • · 専用コンフィグソフトを使用することで警報出力等のパラメータの設定変更が可能
  • · 理想的なクリーン構造の検出器が内蔵
  • · マグネットによるゼロ調整
  • · RS-485 通信にてパラメータ設定
  • · RoHS 対応

主な用途

  • · 半導体製造装置プロセスの純水、超純水の流量測定
  • · 各種薬液注入プロセスの流量測定
  • · 高腐食性液体の流量測定
  • · その他、小～中口径プロセス液体流量測定
    洗浄装置の流量計測・制御に最適

主な仕様

形式 UCM-04A UCM-06A
測定対象 液体全般 （気泡を含まない液体。浸透性の高い液体は除く）
口径 φ6.35×φ4.35チューブ φ9.53×φ6.35チューブ
流量レンジ 最大 0 ～ 3.0 L/min
最小 0 ～ 0.2 L/min		 最大 0 ～ 8.0 L/min
最小 0 ～ 1.0 L/min
流体温度 10 ～ 60℃
流体圧力 0 ～ 0.4MPa
プロセス接続 PFAチューブエンド
測定精度 ± 1% F.S.
（但し流量レンジ0 ～ 500mL/min以下は±8mL/min）		 ± 1% F.S.
（但し流量レンジ0 ～ 1000mL/min以下は±17mL/min）