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流量UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器SFC4000

UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器 SFC4000

SFC4000カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

UCUFシリーズ超音波流量計は、超純水や各種薬液などの小流量測定用に設計された流量計です。
接液部はすべて特殊グレードのPFAの成形品で構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造で、半導体装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。
SFC4000はUCUF形検出器用のパネルマウント形変換器です。
デジタルシグナルプロセッサ(DSP)等の最新電子技術を採用し、半導体プロセス・薬液プロセス等で問題があった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しました。表示器を使用しながら通信を用いた集中管理が可能です。

特 長

  • · 耐気泡性能の向上

    体中に気泡が含まれると超音波の伝播が阻害されて流量計測が不能になります。豊富なフィールド経験とDSP信号処理技術により、受信波形をチェックして気泡の影響を検知し、流量演算から除外して気泡の影響による異常出力の排除を実現しました。さらに超音波受信波形信号処理を見直し、従来機種と比較して耐気泡性能を向上させました。

  • · 表示付パネルマウントタイプ

    表示・設定機能を搭載。瞬時流量や積算流量、各種ステータスが表示できるほか、容易な操作で各種設定の確認・変更が可能です。

  • · 通信機能

    RS-485 MODBUS通信を標準搭載。通信を用いた流量監視・各種設定が可能です。

  • · 各種出力を選択可能

    瞬時流量のアナログ出力(形式により選択)
    瞬時流量の周波数出力または積算パルス出力
    瞬時流量警報と積算プリセット警報の混在使用可能(合計2点)

  • · 動粘度40mm²/sまでの高粘度流体の測定が可能

  • · 精度: UCUF形検出器との組合せにて

    指示値の±1%(流速1m/s以上において)

  • · CEマーキング

主な仕様

形式 SFC4000
適合検出器 UCUF-04K/06K、UCUF04E/06E、UCUF-04M/06M、UCUF-10K/15K/20K、 UCUF-10M/15M/20M
測定対象 液体全般
流体温度 5 ~ 90℃
流体の音速 400 ~ 2500 m/s
流体の動粘度 0.3 ~ 40mm²/s
流量範囲 最小 : 0 ~ 0.05 L/min 最大 : 0 ~ 80.0 L/min
入力 センサ信号:専用ケーブル(BNCコネクタ)
パルス出力 オープンコレクタ出力:負荷定格:DC30 V、20mA以内 周波数パルス出力:積算パルス出力またはFAULT出力を選択可能内

・周波数パルス出力 :
 パルスレート 1000Hz max. (フルスケール)
 デューティ比 1:1

・積算パルス出力
 流量単位パルスを出力

・FAULT出力:変換器および検出器の異常検出時に出力
  NO,NC選択可能
瞬時流量 電流出力タイプ:4 ~ 20mA(負荷抵抗:500Ω以下)
電圧出力タイプ:0 ~ 10V、0~5Vまたは1 ~ 5V(負荷抵抗:1MΩ以上)
ローカットオフ 0 ~ 25 % F.S.の範囲で設定可能
通信 RS485 プロトコル : MODBUS RTU (最大32台まで接続可能)
電源 DC24V±10%
保護等級 IP20(屋内仕様)
取付方法 パネル取り付け