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高温用UCUF-04MT形超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量測定で実績のあるUCUFシリーズ超音波流量計を高温用に改良した流量計です。接液部はすべて特殊グレードのPFA成型品で構成され、稼動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため半導体製造装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。 変換器は薄型のDINレール取り付けタイプです。デジタル信号プロセッサ(DSP)等の最新の電子技術を採用し、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減したことを特徴としております。さらに時間分解能の向上と信号処理の高速化により従来製品と比較して低流量域で測定の安定度が向上しました。
SFC-010T変換器は従来形変換器を更にスリム化しました。
SFC-010Tは10 msの高速サンプリング処理。
流体中に気泡が含まれると超音波の伝播が阻害されて流量測定が不能になります。豊富なフィールド経験とDSP信号処理技術により、受信波形をチェックして気泡の影響を検知し、流量計算から除外し気泡の影響による異常出力を排除することに成功しました。
· CE(EMC 指令 IEC61326-1: 2006適合)
· RoHS対応
流体温度180 ℃まで対応可能。
最大40.0 [mm²/s] までの高粘度流体の測定が可能。
理想的なクリーン構造の検出器。
腐食に強く取付けが容易。
ゼロチェック機能:測定前にゼロチェックを行うことで測定流体に対して最適な条件で測定を開始できます。
パラメータ設定:専用コンフィギュレータソフトより各種パラメータ設定が可能です。(別途、RS-485通信コンバータが必要)
流量表示:7セグメント赤色LED(4桁)表示を搭載し、流量表示とステータスを表示できます。
測定対象 | 液体全般(気泡を含まない液体およびPFAを透過または侵食しないこと) |
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口径 | 4mm |
流量レンジ | 0.8 ~ 2.0 L/min(流速1m/s以上) 0.1 ~ 0.8 L/min(流速1m/s未満) |
流体温度 | 10 〜 180 ℃ |
流体圧力 | 0 〜 0.5 MPa |
プロセス接続 | PFAチューブエンド |
測定精度 | ±0.008 L/min ~ ±1% |
形式 | SFC-010T |
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ディスプレイ | 4桁LED表示(瞬時流量、ステータス) |
出力 |
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電源 | DC 24 V ±10 % |
構造 | IP20相当 (屋内仕様) |
取付 | DINレール取付 |