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流量高温液体用小口径超音波流量計UCUF-04MT/SFC-010T

高温液体用小口径超音波流量計 UCUF-04MT / SFC-010T

UCUF-04MT /
SFC-010TカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

高温用UCUF-04MT形超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量測定で実績のあるUCUFシリーズ超音波流量計を高温用に改良した流量計です。接液部はすべて特殊グレードのPFA成型品で構成され、稼動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため半導体製造装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。 変換器は薄型のDINレール取り付けタイプです。デジタル信号プロセッサ(DSP)等の最新の電子技術を採用し、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減したことを特徴としております。さらに時間分解能の向上と信号処理の高速化により従来製品と比較して低流量域で測定の安定度が向上しました。

特 長

  • · 省エネ・省スペース

    SFC-010T変換器は従来形変換器を更にスリム化しました。

  • · 高速演算

    SFC-010Tは10 msの高速サンプリング処理。

  • · 耐気泡性能を大幅に改善

    流体中に気泡が含まれると超音波の伝播が阻害されて流量測定が不能になります。豊富なフィールド経験とDSP信号処理技術により、受信波形をチェックして気泡の影響を検知し、流量計算から除外し気泡の影響による異常出力を排除することに成功しました。

  • · 適合規格

    · CE(EMC 指令 IEC61326-1: 2006適合)
    · RoHS対応

  • · 検出器

    流体温度180 ℃まで対応可能。
    最大40.0 [mm²/s] までの高粘度流体の測定が可能。
    理想的なクリーン構造の検出器。
    腐食に強く取付けが容易。

  • · 変換器機能

    ゼロチェック機能:測定前にゼロチェックを行うことで測定流体に対して最適な条件で測定を開始できます。
    パラメータ設定:専用コンフィギュレータソフトより各種パラメータ設定が可能です。(別途、RS-485通信コンバータが必要)
    流量表示:7セグメント赤色LED(4桁)表示を搭載し、流量表示とステータスを表示できます。

主な用途

  • · 半導体製造プロセスの高温薬液流量測定(計測対象薬液は事前にご相談ください)
  • · 各種薬液供給プロセスの流量測定(計測対象薬液は事前にご相談ください)
  • · 微少流量測定

主な仕様

形式 SFC-010T
出力
アナログ出力:
DC 4 ~ 20 mA、DC 0 ~ 20 mA
DC 1 ~ 5 V、DC 0 ~ 5 V、DC 0 ~ 10 V
負荷抵抗500 Ω以内
アラーム出力:
上下限2点
定格;オープンコレクタパルス DC 30 V/10 mA
時定数 0.0 ~ 25.0 sec
ローカットオフ 0.0 ~ 25.0 % F.S.
表示 4桁LED表示(瞬時流量、ステータス)
電源 DC 24 V±10 % 消費電力 約155 mA  (突入電流 約2 A/2 ms)
取付 DINレール
構造 IP20相当(屋内仕様)