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流量液体微小流量用超音波流量計UCUF-02M/SFC-010L

液体微小流量用超音波流量計 UCUF-02M/SFC-010L

UCUF-02M/
SFC-010LカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

UCUF-02M/SFC-010Lは液体用超音波流量計です。 純水、超純水や各種薬液などの微小流量を高精度測定できます。 測定管路の口径は2.5 mm で、従来のUCUF 形超音波流量計では測定が難しかった微小流量域を広くカバーします。 接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、可動部が全くなく、液溜まりを生じやすいシール部もない理想的なクリーン構造で、半導体製造装置などのクリーン度が要求されるプロセスに最適です。 流量計の入口、出口部は規格寸法のチューブになっており、各種PFA継手への接続が可能です。

特 長

  • · 小口径化
    この超音波流量計は、超音波の伝播計測が難しかった内径φ2.5 mmの管路で超音波の伝搬計測に成功しました。
  • · 微小流量
    最小フルスケール設定範囲 : 0 ~ 10 mL/min
  • · EMC 適合規格 : EN61326-1
  • · RoHS対応
  • · 動粘度40 mm²/sまでの高粘度流体の測定が可能
  • · 理想的なクリーン構造の検出器
  • · 腐食に強く、取付けが容易
  • · 精度 : 指示値の±1%以内(流量25 mL/min以上において)

主な用途

  • · 半導体製造プロセスの純水、超純水の流量測定
  • · 各種薬液注入プロセスの流量測定
  • · 高腐食性液体の流量測定
  • · CMP スラリー流量測定
  • · その他、小 ~ 中口径プロセス液体流量測定
  • · 洗浄装置、CMP 装置の流量計測・制御に最適

主な仕様

検出器仕様

形式 UCUF-02M
流体 液体全般 (気泡を含まない液体およびPFAを透過または侵食しないこと)
流量 最大 0 ~ 100 mL/min
最小 0 ~ 10 mL/min
※フルスケール設定は10 mL/min STEPとなります
精度 ±1% RD (25mL/min以上)
±0.25 mL/min (25mL/min未満)
※但し20℃の水を流した場合
温度 10 ~ 90℃
圧力 0 ~ 0.5 MPa
接続口径 1/4" PFAチューブエンド
材質 PFA
構造 IP65 (屋内仕様)
ケーブル 5m (標準)

変換器仕様

形式 SFC-010L
ディスプレイ 4桁LED、瞬時流量 (%FS)
出力
1) 電流出力: 
DC4-20 mA (負荷抵抗500Ω以下)
2) 周波数出力: 
オープンコレクタパルス
負荷定格:DC 30 V、 10 mA 0 ~ 1000 Hz
3) 警報出力: 
オープンコレクタ (2点)
負荷定格:DC 30V、 10mA
電源 DC 24 V ±10 %
構造 IP20 (屋内仕様)
取付 DINレール取付