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小形の面積流量計です。液体、気体の流量を測定・表示します。
様々な装置組み込みからプロセスまで幅広いラインアップでお応えします。
分析計など装置組み込み、半導体製造設備・装置組み込み、工業プロセスの小口径ラインなどに。
汎用タイプの小形面積流量計です。
コンパクトながら警報出力付きも選択でき、幅広い用途に対応しています。
製品スペック | |||
---|---|---|---|
取付寸法 | 115 mm | 警報出力 | 〇 |
気体計測 | 〇 | 流量範囲 (空気) |
最小 0.5 ~ 5 mL/min (nor) 最大 5 ~ 50 L/min (nor) |
液体計測 | 〇 | 流量範囲 (水) |
最小 5 ~ 50 mL/min 最大 0.4 ~ 2 L/min |
汎用タイプの小形面積流量計です。
2点の警報出力付きが選択できます。幅広い用途に対応しています。
製品スペック | |||
---|---|---|---|
取付寸法 | 200 mm | 警報出力 | 〇 |
気体計測 | 〇 | 流量範囲 (空気) |
最小 5 ~ 50 mL/min (nor) 最大 6 ~ 60 L/min (nor) |
液体計測 | 〇 | 流量範囲 (水) |
最小 5 ~ 50 mL/min 最大 0.2 ~ 2 L/min |
本体材質がオールステンレスで耐食性に優れています。
製品スペック | |||
---|---|---|---|
取付寸法 | 200 mm | 警報出力 | - |
気体計測 | 〇 | 流量範囲 (空気) |
最小 80 ~ 800 mL/min (nor) 最大 6 ~ 60 L/min (nor) |
液体計測 | 〇 | 流量範囲 (水) |
最小 5 ~ 50 mL/min 最大 0.2 ~ 2 L/min |
本体材質がオールステンレスで耐食性に優れています。
パージメータの中では最大の流量が計測可能です。
製品スペック | |||
---|---|---|---|
取付寸法 | 200 mm | 警報出力 | 〇 |
気体計測 | 〇 | 流量範囲 (空気) |
最小 2.5 ~ 25 L/min(nor) 最大 60 ~ 600 L/min (nor) |
液体計測 | 〇 | 流量範囲 (水) |
最小 0.1 ~ 1 L/min 最大 3 ~ 30 L/min |
気体計測専用のガラス管パージメータです。
パージメータの中では微小流量の計測に特化しています。取り付け寸法のラインアップが多く設計の自由度を高めます。
製品スペック | |||
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取付寸法 | 115・130・ 145 mm |
警報出力 | 〇 |
気体計測 | 〇 | 流量範囲 (空気) |
最小 0.15 ~ 1.5 mL/min (nor) 最大 6 ~ 60 L/min (nor) |
液体計測 | - | 流量範囲 (水) |
- |
ポリアセタール(POM)本体を採用したコンパクトなパージメータです。
短納期でコストエフェクティブ。
製品スペック | |||
---|---|---|---|
取付寸法 | 80 mm | 警報出力 | 〇 |
気体計測 | 〇 | 流量範囲 (空気) |
最小 0.1 ~ 1 L/min (nor) 最大 2 ~ 20 L/min (nor) |
液体計測 | 〇 | 流量範囲 (水) |
最小 0.02 ~ 0.1 L/min 最大 0.2 ~ 1 L/min |
アクリルの一体成型品でローコストな樹脂製パージメータです。
製品スペック | |||
---|---|---|---|
取付寸法 | 84 mm | 警報出力 | 〇 |
気体計測 | 〇 | 流量範囲 (空気) |
小流量タイプ
大流量タイプ最小 0.2 ~ 2 L/min (nor) 最大 5 ~ 50 L/min (nor) 最小 5 ~ 50 L/min (nor) 最大 30 ~ 300 L/min (nor) |
液体計測 | 〇 | 流量範囲 (水) |
小流量タイプ
大流量タイプ最小 10 ~ 100 mL/min 最大 0.3 ~ 3 L/min 最小 0.3 ~ 3 L/min 最大 1 ~ 10 L/min |
フッ素樹脂製で高い耐食性を実現しています。
腐食性のある薬液・溶剤に幅広くご使用いただけます。
製品スペック | |||
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取付寸法 | 79 mm | 警報出力 | 〇 |
気体計測 | 〇 | 流量範囲 (空気) |
最小 50 ~ 500 mL/min (nor) 最大 2 ~ 20 L/min (nor) |
液体計測 | 〇 | 流量範囲 (水) |
最小 3 ~ 30 mL/min 最大 0.4 ~ 2 L/min |
取付寸法がP-100シリーズと同じ115mmのパージメータです。
使用流体を水・空気・窒素用に限定した汎用品でロット生産に対応します。
同一仕様、10 台以上ご検討の場合に最適です。
液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では小流量をカバーします。
純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実績があります。
取付寸法80mmです。オプションでPAUアラームユニットを搭載可能です。
液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では大流量をカバーします。
純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実勢があります。
取付寸法150mmです。オプションでリードスイッチ警報、PAUアラームユニットを搭載可能です。
液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では中流量をカバーします。
純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実勢があります。
取付寸法115mmです。オプションでリードスイッチ警報、PAUアラームユニットを搭載可能です。
液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では中流量をカバーします。
純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実勢があります。
取付寸法100mmです。オプションでリードスイッチ警報を選択可能です。