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流量06. パージメータ

パージメータ

小形の面積流量計です。液体、気体の流量を測定・表示します。
様々な装置組み込みからプロセスまで幅広いラインアップでお応えします。
分析計など装置組み込み、半導体製造設備・装置組み込み、工業プロセスの小口径ラインなどに。

標準タイプ

ガラス管パージメータ
P-100

汎用タイプの小形面積流量計です。
コンパクトながら警報出力付きも選択でき、幅広い用途に対応しています。

製品スペック
取付寸法 115 mm 警報出力
気体計測 流量範囲
(空気)
最小 0.5 ~ 5 mL/min (nor)
最大 5 ~ 50 L/min (nor)
液体計測 流量範囲
(水)
最小 5 ~ 50 mL/min
最大 0.4 ~ 2 L/min
ガラス管パージメータ
P-200

汎用タイプの小形面積流量計です。
2点の警報出力付きが選択できます。幅広い用途に対応しています。

製品スペック
取付寸法 200 mm 警報出力
気体計測 流量範囲
(空気)
最小 5 ~ 50 mL/min (nor)
最大 6 ~ 60 L/min (nor)
液体計測 流量範囲
(水)
最小 5 ~ 50 mL/min
最大 0.2 ~ 2 L/min
ガラス管パージメータ
P-400

本体材質がオールステンレスで耐食性に優れています。

製品スペック
取付寸法 200 mm 警報出力 -
気体計測 流量範囲
(空気)
最小 80 ~ 800 mL/min (nor)
最大 6 ~ 60 L/min (nor)
液体計測 流量範囲
(水)
最小 5 ~ 50 mL/min
最大 0.2 ~ 2 L/min
ガラス管パージメータ
P-510

本体材質がオールステンレスで耐食性に優れています。
パージメータの中では最大の流量が計測可能です。

製品スペック
取付寸法 200 mm 警報出力
気体計測 流量範囲
(空気)
最小 2.5 ~ 25 mL/min (nor)
最大 60 ~ 600 L/min (nor)
液体計測 流量範囲
(水)
最小 0.1 ~ 1 mL/min
最大 3 ~ 30 L/min
ガラス管パージメータ
P-880

気体計測専用のガラス管パージメータです。
パージメータの中では微小流量の計測に特化しています。取り付け寸法のラインアップが多く設計の自由度を高めます。

製品スペック
取付寸法 115・130・
145 mm
警報出力
気体計測 流量範囲
(空気)
最小 0.15 ~ 1.5 mL/min (nor)
最大 6 ~ 60 L/min (nor)
液体計測 - 流量範囲
(水)
-
ガラス管パージメータ
XP

ポリアセタール(POM)本体を採用したコンパクトなパージメータです。
短納期でコストエフェクティブ。

製品スペック
取付寸法 80 mm 警報出力
気体計測 流量範囲
(空気)
最小 0.1 ~ 1 L/min (nor)
最大 2 ~ 20 L/min (nor)
液体計測 流量範囲
(水)
最小 0.02 ~ 0.1 L/min
最大 0.2 ~ 1 L/min
樹脂製パージメータ
P-060

アクリルの一体成型品でローコストな樹脂製パージメータです。

製品スペック
取付寸法 84 mm 警報出力
気体計測 流量範囲
(空気)
小流量タイプ
最小 0.2 ~ 2 mL/min (nor)
最大 5 ~ 50 L/min (nor)
大流量タイプ
最小 5 ~ 50 L/min (nor)
最大 30 ~ 300 L/min (nor)
液体計測 流量範囲
(水)
小流量タイプ
最小 10 ~ 100 mL/min
最大 0.3 ~ 3 L/min
大流量タイプ
最小 0.3 ~ 3 mL/min
最大 1 ~ 10 L/min
フッ素樹脂製パージメータ
P-710

フッ素樹脂製で高い耐食性を実現しています。
腐食性のある薬液・溶剤に幅広くご使用いただけます。

製品スペック
取付寸法 79 mm 警報出力
気体計測 流量範囲
(空気)
最小 50 ~ 500 mL/min (nor)
最大 2 ~ 20 L/min (nor)
液体計測 流量範囲
(水)
最小 3 ~ 30 mL/min
最大 0.4 ~ 2 L/min

その他ラインアップ

ガラス管パージメータ
P-530

取付寸法が150mmとコンパクトながら比較的大きい流量を計測可能です。

ガラス管パージメータ
P-810

半導体製造プロセスの各種ガスの流量測定に最適。
外周シール採用で高信頼。各種装置で豊富な使用実績。
電解研磨処理、低リークの高品位タイプもあります。

ガラス管パージメータ
P-820

各種半導体関連の装置に幅広く使用されています。
オプションでリードスイッチ警報出力やPAUオプティカル
アラームユニットを搭載可能です。

ガラス管パージメータ
P-830

流体温度最高130℃までカバーする耐熱性に優れたパージメータです。
オプションでリードスイッチ警報出力にも対応します。

ガラス管パージメータ
P-850

取付寸法80mmのコンパクトなパージメータです。
各種装置の組込に最適です。

ガラス管パージメータ
P-900

取付寸法114mm、224mmの汎用パージメータです。

ガラス管パージメータ
P-010

取付寸法がP-100シリーズと同じ115mmのパージメータです。
使用流体を水・空気・窒素用に限定した汎用品でロット生産に対応します。
同一仕様、10 台以上ご検討の場合に最適です。

樹脂製パージメータ
P-620

アクリル成型、液体専用の汎用パージメータです。
オプションでリードスイッチ警報が選択可能です。

フッ素樹脂製パージメータ
P-771

液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では小流量をカバーします。
純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実績があります。
取付寸法80mmです。オプションでPAUアラームユニットを搭載可能です。

フッ素樹脂製パージメータ
P-772

液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では大流量をカバーします。
純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実勢があります。
取付寸法150mmです。オプションでリードスイッチ警報、PAUアラームユニットを搭載可能です。

フッ素樹脂製パージメータ
P-773

液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では中流量をカバーします。
純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実勢があります。
取付寸法115mmです。オプションでリードスイッチ警報、PAUアラームユニットを搭載可能です。

フッ素樹脂製パージメータ
P-774

液体専用でフッ素樹脂パージメータの中では中流量をカバーします。
純水、超純水、薬液の測定など半導体製造プロセス等で豊富な実勢があります。
取付寸法100mmです。オプションでリードスイッチ警報を選択可能です。