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流量パージメータP-880

パージメータ P-880

P-880カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

P-880は超微小流量の計測を可能とした気体計測用面積流量計です。 また、従来製品のP-100/200/810/820 シリーズのバルブを精密に流量制御出来る様に改良いたしました。
超微小流量の計測・流量制御に適した流量計です。

主な用途

1) 機器組込み
2) バイオ産業
3) 半導体関連ガス機器

標準仕様

計測流体 気体全般
流量範囲
空気 : 
最小 0.15 ~ 1.5 mL/min(nor)
最大 6 ~ 60 L/min(nor)

・流量範囲の換算方法は、P形機能・選定について(TG-S0001)を参照
・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照
目盛範囲 10 : 1
指示精度 ± 5 % F.S.
流体圧力 最高1MPa
流体温度 最高 120℃ (パッキン材質によって異なる)
外部リークレート 1×10-7Pa・m3/s(He)以下
この数値は、弊社試験により得られた代表値であり、保証値ではありません。
材質
本体接液部 : 
SCS14/SUS316
テーパ管 : 
耐熱ガラス
パッキン : 
フッ素ゴム(最高120℃)
クロロプレンゴム(CR)(最高80℃)
エチレンプロピレンゴム(EPDM)(最高80℃)
・各パッキン材質の最高流体温度は、一般的なデータであり、使用条件や環境によって変わることがあります。
取付板 : 
A5052(白色アルマイト)
カバー : 
透明PVC
接続規格/ 口径 Rc : 1/4"(標準)、1/8"
NPT :1/4"、1/8"
SW : 1/4"相当、3/8"相当
VCR : 1/4"相当、3/8"相当
標準洗浄処理 禁油処理(超音波洗浄)
禁水処理
取付方法 パネルの前面ロックナット取付
質量 約0.28kg (P-881)