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P-880は超微小流量の計測を可能とした気体計測用面積流量計です。 また、従来製品のP-100/200/810/820 シリーズのバルブを精密に流量制御出来る様に改良いたしました。
超微小流量の計測・流量制御に適した流量計です。
1) 機器組込み
2) バイオ産業
3) 半導体関連ガス機器
測定対象 | 気体全般 |
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口径 | Rc : 1/4"(標準)、1/8" NPT :1/4"、1/8" SW : 1/4"相当、3/8"相当 VCR : 1/4"相当、3/8"相当 |
流量レンジ |
・流量範囲の換算方法は、P形機能・選定について(TG-S0001)を参照 ・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照 |
流体温度 | 最高 120℃ (パッキン材質によって異なる) |
流体圧力 | 最高1MPa |
プロセス接続 | Rc、NPT、SW、VCR |
測定精度 | ± 5 % F.S. |