お問い合わせ

MENU
閉じる

流量パージメータP-820

P-820

P-820カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

P-810同様各種半導体装置に幅広く使用されています。 リードスイッチタイプの警報接点付きも製作します。

主な用途

半導体製造装置用

標準仕様

測定対象 気体全般
液体（水相当 : 密度1.0ｇ/ｃｍ³ 粘度1.0mPa・s のみ）
口径 Rc : 1/4"(標準)、1/8"
NPT : 1/4"、1/8"
SW : 1/4"、3/8"
VCR : 1/4"、3/8"
流量レンジ 空気
 P-821 : 
最大 : 12 ～ 60 L/min（nor）
最小 : 0.5 ～ 5 mL/min（nor）
 P-823 : 
最大 : 6 ～ 60 L/min（nor）
最小 : 5 ～ 50 mL/min（nor）

水
 P-821 : 
最大 : 0.4 ～ 2 L/min
最小 : 5 ～ 50 mL/min
 P-823 : 
最大 : 0.2 ～ 2 L/min
最小 : 5 ～ 50 mL/min

・流量範囲の換算方法は、P 形機能・選定について（TG-S0001)を参照
流体温度 最高120℃（パッキン材質によって異なる）
流体圧力 最高0.8 MPa
測定精度 P-823 : ±3% F.S.
P-821 : ±5% F.S.