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流量パージメータP-820

P-820

P-820カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

P-810同様各種半導体装置に幅広く使用されています。 リードスイッチタイプの警報接点付きも製作します。

主な用途

半導体製造装置用

標準仕様

計測流体 気体全般
液体(水相当 : 密度1.0g/cm³ 粘度1.0mPa・s のみ)
流量範囲 空気
 P-821 : 
最小 :  0.5 ~ 5 mL/min(nor)
最大 :  12 ~ 60 L/min(nor)
 P-823 : 
最小 :  5 ~ 50 mL/min(nor)
最大 :  6 ~ 60 L/min(nor)

 P-821 : 
最小 : 5 ~ 50 mL/min
最大 : 0.4 ~ 2 L/min
 P-823 : 
最小 : 5 ~ 50 mL/min
最大 : 0.2 ~ 2 L/min

・流量範囲の換算方法は、P 形機能・選定について(TG-S0001)を参照
目盛範囲 10 : 1(一部10 : 2となります)
指示精度 P-823 : ±3% F.S.
P-821 : ±5% F.S.
流体圧力 最高0.8 MPa
流体温度 最高120℃(パッキン材質によって異なる)
材質
本体接液部 : 
SCS14(標準)、SUS316(電解研磨仕様)
テーパ管 : 
耐熱ガラス
パッキン : 
フッ素ゴム(最高120℃)
クロロプレンゴム(最高80℃)
・各パッキン材質の最高流体温度は、一般的なデータであり、使用条件や環境によって変わることがあります。
取付板 : 
SUS304
カバー : 
透明PVC
接続規格/ 口径 Rc : 1/4"(標準)、1/8"
NPT : 1/4"、1/8"
SW : 1/4"、3/8"
VCR : 1/4"、3/8"
取付方法 パネルの前面ロックナット取付(標準)
ベゼルによるパネル取付
質量 約0.6kg(P-821)