お問い合わせ

流量パージメータP-810

パージメータ P-810

P-810カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

半導体製造プロセスの各種ガスの流量測定に最適。外周シール採用で高信頼。各種装置で豊富な使用実績。電解研磨処理、低リークの高品位タイプもあります。

主な用途

  • · 半導体製造装置気体用
  • · リーク量重視ライン用

標準仕様

計測流体 気体全般
液体(水相当 : 密度1.0g/cm³ 粘度1.0mPa・s のみ)
流量範囲
空気 :  
最小 5 ~ 50 mL/min(nor)
最大 6 ~ 60 L/min(nor)
水 :  
最小 5 ~ 50 mL/min
最大 0.2 ~ 2 L/min
・流量範囲の換算方法は、P 形機能・選定について (TG-S0001)を参照
目盛範囲 10 : 1
指示精度 ±3% F.S.
流体圧力 0.8 MPa max.
流体温度 最高120℃(パッキン材質によって異なる)
材質
本体接液部 : 
SCS14(標準)、SUS316(電解研磨仕様)
テーパ管 : 
耐熱ガラス
パッキン : 
フッ素ゴム(最高120℃)
クロロプレンゴム(最高80℃)
・各パッキン材質の最高流体温度は、一般的なデータであり、使用条件や環境によって変わることがあります。
取付板 : 
SUS304
カバー : 
透明PVC
接続規格/ 口径 Rc : 1/4"(標準)、1/8"
NPT : 1/4"、1/8"
SW : 1/4"、3/8"
VCR : 1/4"、3/8"
取付方法 パネルの前面ロックナット取付(標準)
ベゼルによるパネル取付
質量 約0.6kg