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流量パージメータP-810

パージメータ P-810

P-810カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

半導体製造プロセスの各種ガスの流量測定に最適。外周シール採用で高信頼。各種装置で豊富な使用実績。電解研磨処理、低リークの高品位タイプもあります。

主な用途

  • · 半導体製造装置気体用
  • · リーク量重視ライン用

標準仕様

測定対象 気体全般
液体（水相当 : 密度1.0ｇ/ｃｍ³ 粘度1.0mPa・s のみ）
口径 Rc : 1/4"(標準)、1/8"
NPT : 1/4"、1/8"
SW : 1/4"、3/8"
VCR : 1/4"、3/8"
流量レンジ
空気: 
最大 6 ～ 60 L/min（nor）
最小 5 ～ 50 mL/min（nor）
水: 
最大 0.2 ～ 2 L/min
最小 5 ～ 50 mL/min
・流量範囲の換算方法は、P 形機能・選定について（TG-S0001）を参照
流体温度 最高120℃（パッキン材質によって異なる）
流体圧力 0.8 MPa max.
測定精度 ±3% F.S.