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流量パージメータP-774

パージメータ P-774

P-774

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※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

P-774は東京計装のオールフッ素樹脂パージメータシリーズに新しく追加された面間100mmタイプのパージメータです。PFA一体形の本体・縦手部と溶接構造のシール部で抜群のクリーン度を確保します。

主な用途

半導体製造ラインの超純水、薬液用

標準仕様

測定対象	液体全般
口径	φ10ピラー継手（スーパーフィッティング）
流量範囲	水: 最大1 ～ 10 L/min 最小0.1 ～ 1 L/min
流体温度	最高60℃
流体圧力	0.5 MPa max.
プロセス接続	ピラー継手
測定精度	±5% F.S.