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流量パージメータP-772

パージメータ P-772

P-772カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

オールフッ素樹脂、ウルトラクリーンパージメータ。接液部はもとより、機構部分からも金属を排除し、雰囲気に対しても錆などの発生を防止します。全PFA 成型、チューブ直結継手採用。 純水、超純水、薬液など半導体製造プロセスでの液体流量計測に最適。

主な用途

  • · 半導体製造ラインの超純水、純水薬液用
    ※P-772-U(バルブ付)は、仕様によりリスト規制(輸出令別表第-3項(2)-7)に該当します。 詳細は別途お問い合わせ下さい。

標準仕様

測定対象 液体全般
口径 チューブエンド継手 : (OD)19mm(ID) 15.8mm(標準)
Rc : 1/2"、3/4"
NPT : 1/2"、3/4"
流量レンジ
水: 
最大 4.5 ～ 45 L/min
最小 0.06 ～ 0.6 L/min
流体温度 最高60℃ 高温仕様 : 最高90℃まで可能
流体圧力 0.5 MPa max.
プロセス接続 チューブエンド継手、Rc、NPT
測定精度 ±5% F.S.