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流量パージメータP-772

パージメータ P-772

P-772カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

オールフッ素樹脂、ウルトラクリーンパージメータ。接液部はもとより、機構部分からも金属を排除し、雰囲気に対しても錆などの発生を防止します。全PFA 成型、チューブ直結継手採用。 純水、超純水、薬液など半導体製造プロセスでの液体流量計測に最適。

主な用途

  • · 半導体製造ラインの超純水、純水薬液用
    ※P-772-U(バルブ付)は、仕様によりリスト規制(輸出令別表第-3項(2)-7)に該当します。 詳細は別途お問い合わせ下さい。

標準仕様

測定流体 液体全般
流量範囲
水 :  
最小 0.06 ~ 0.6 L/min
最大 4.5 ~ 45 L/min
目盛範囲 10 : 1
指示精度 ±5% F.S.
流体圧力 0.5 MPa max.
流体温度 最高60℃ 高温仕様 : 最高90℃まで可能
材質
本体接液部 : 
PFA、一体成型
テーパ管 : 
PFA、一体成型
パッキン : 
PTFE(バルブ付の場合)
サイドプレート : 
PVC
カバー : 
PVC
接続規格/ 口径 チューブエンド継手 : (OD)19mm(ID) 15.8mm(標準)
Rc : 1/2"、3/4"
NPT : 1/2"、3/4"
取付方法 パネルの前面ねじ取付(標準)
パネル埋込取付
質量 約0.8kg