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流量パージメータP-620

パージメータ P-620

P-620カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

アクリル成型コンパクトタイプ。液体専用。 コンパクトでも10L/minまで計測できます。 フロースイッチとして広く使用されています。 パネルに取り付けたままでメンテナンス可能です。

主な用途

半導体製造装置冷却水ライン

標準仕様

測定流体 液体全般
流量範囲
水 :  
最小0.1 ~ 1 L/min
最大1 ~ 10 L/min
・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照
目盛範囲 10 : 1(一部特殊となります)
指示精度 ±10% F.S.
流体圧力 1 MPa max.
流体温度 最高60℃
材質
本体接液部 :  
アクリル
テーパ管 : 
アクリル
パッキン : 
二トリルゴム(NBR)
クロロプレンゴム(CR)
フッ素ゴム
継 手: 
C3604, SUS304, SUS316
接続規格/ 口径 Rc : 3/8" (標準)
NPT : 3/8"
SW : 3/8"
取付方法 パネルの前面ねじ取付(標準)
質量 約0.3kg