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流量パージメータP-620

パージメータ P-620

P-620カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

アクリル成型コンパクトタイプ。液体専用。 コンパクトでも10L/minまで計測できます。 フロースイッチとして広く使用されています。 パネルに取り付けたままでメンテナンス可能です。

主な用途

半導体製造装置冷却水ライン

標準仕様

測定対象 液体全般
口径 Rc : 3/8"（標準）
NPT : 3/8"
SW : 3/8"
流量レンジ
水: 
最大1 ～ 10 L/min
最小0.1 ～ 1 L/min
・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照
流体温度 最高60℃
流体圧力 1 MPa max.
プロセス接続 Rc、NPT、SW
測定精度 ±10% F.S.