SFC-900

流量計測機器

特注製品

超音波流量計（装置用）

SFC-900は、UCUF用の変換器で、弊社特許技術の差分相関方式を採用し、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減したことを特徴としております。さらに差分相関方式のシンプルな回路構成により、高性能と経済性の両立を実現しました。

カタログ・パンフレット

• SFC-900

  カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

特長

• 差分相関方式により耐気泡性能を大幅に改善
• 軽量コンパクトで検出器・変換器分離型
• 変換器は配線工事がしやすいプラグイン構造
• 汎用性の高いBNCコネクタを採用し、従来製品との互換性を考慮
• 容易な操作で被測定液に合わせたパラメータ設定が可能
• 理想的なクリーン構造の検出器
• 腐食に強く､取付が容易な検出器
• 動粘度40mm²/sまでの高粘度流体の測定が可能
• 指示値の±1%以内の高精度(流速1m/s以上)
• 豊富な表示・出力機能
• 汎用性の高いBNCコネクタを採用
• EMC適合規格:EMI/EN55011:2007(Group1,Class A) EMS/EN61326:2006
• RoHS対応

おすすめ用途(UCUFシリーズと組み合わせて)

• 半導体･液晶製造工程の洗浄装置、CMP装置の純水、超純水、各種薬液の流量管理

主な仕様(検出器と組み合わせて)