FC-100シリーズは流量を測定する羽根車流量計に､流量制御用バルブを組み込んだ計測・制御動作部FCV-200と､流量信号を検出・演算して設定流量に制御するコントローラFCA-100で構成される水用流量コントロールユニットです。 流量計は軸流式羽根車流量計を採用し、配管に直結できるよう流量制御用バルブを組み込み､コンパクトな一体構造になっています。コントローラは流量計の信号を直接 受信して演算､制御信号に変換する機能を持ち､省スペース､耐ノイズ性能向上を実現しました。 半導体製造プロセスの冷却ラインやチラーユニット等の冷却水の流量管理に最適です。
FC-100
※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。
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