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UCUF-Kシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-K形検出器と、SFC形変換器で構成されます。UCUF形検出器の接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため、半導体装置などの高いクリーン度が要求されるプロセスに最適な流量計です。