流量UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器SFC4000

SFC-710

SFC4000カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

UCUFシリーズ超音波流量計は、超純水や各種薬液などの小流量測定用に設計された流量計です。
接液部はすべて特殊グレードのPFAの成形品で構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造で、半導体装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。
SFC4000はUCUF形検出器用のパネルマウント形変換器です。
デジタルシグナルプロセッサ(DSP)等の最新電子技術を採用し、半導体プロセス・薬液プロセス等で問題があった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しました。表示器を使用しながら通信を用いた集中管理が可能です。

特 長

・ 耐気泡性能の向上
・ 表示付パネルマウントタイプ
・ RS-485 MODBUS通信を標準搭載。通信を用いた流量監視
・各種設定が可能です。
・ 動粘度40mm2/sまでの高粘度流体の測定が可能
・ 精度:UCUF形検出器との組合せにて指示値の±1%(流速1m/s以上において)
・ CEマーキング

主な仕様

形式 SFC4000
適合検出器 UCUF-04K/06K、UCUF04E/06E、UCUF-04M/06M、UCUF-10K/15K/20K、 UCUF-10M/15M/20M
測定対象 液体全般
流体温度 5 ~ 90℃
流体の音速 400 ~ 2500 m/s
流体の動粘度 0.3 ~ 40mm2/s
流量範囲 最小 : 0 ~ 0.05 L/min 最大 : 0 ~ 80.0 L/min
入力 センサ信号:専用ケーブル(BNCコネクタ)
パルス出力 オープンコレクタ出力:負荷定格:DC30 V、20mA以内 周波数パルス出力:積算パルス出力またはFAULT出力を選択可能内

・周波数パルス出力 :
  パルスレート 1000Hz max. (フルスケール)
  デューティ比 1:1
・積算パルス出力
  流量単位パルスを出力
・FAULT出力:変換器および検出器の異常検出時に出力
  NO,NC選択可能
瞬時流量 電流出力タイプ:4~20mA(負荷抵抗:500Ω以下)
電圧出力タイプ:0~10V、0~5Vまたは1~5V(負荷抵抗:1MΩ以上)
ローカットオフ 0 ~ 25 % F.S.の範囲で設定可能
通信 RS485 プロトコル: MODBUS RTU (最大32台まで接続可能)
電源 DC24V±10%
保護等級 IP20(屋内仕様)
取付方法 パネル取り付け