流量13. 渦式フローセンサ・渦流量計

渦式フローセンサ・渦流量計

超音波流量計(プロセス用)

カルマン渦原理の流量計です。
半導体プロセス・装置向けのPFAモデルから、一般プロセス用までラインアップ。

フローセンサ

渦流量計