流量 計測・制御機器

13. 渦式フローセンサ・渦流量計

渦式フローセンサ・渦流量計

カルマン渦原理の流量計です。
半導体プロセス・装置向けのPFAモデルから、一般プロセス用までラインアップ。

フローセンサ
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    VF-2000

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    VF-2200

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    VF-2300

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    VF-3000

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渦流量計
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    VFM4070C

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