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製品ピックアップ
超音波流量計 (装置用)
フローモニタ
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PFA 一体形超音波流量計
UF
New市販PFAチューブを採用した表示付一体形超音波流量計です。
- ・流路は完全ストレートでクリーン構造
- ・低圧力損失
- ・チューブサイズ 1/2"、3/4"、1" をラインナップ
- ・最大流量 150 L/min
おすすめのアプリケーション
- ・枚葉式洗浄装置：DIW供給
- ・バッチ式洗浄装置：DIW供給
- ・薬液供給装置：DIW供給
- ・ラッピング、CMP装置：スラリー供給ライン
- ・各種装置排水ライン
クランプオンタイプ
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クランプオン超音波流量計
UCL/SFC010C, SFC011C
NewPFAチューブ用のクランプオン超音波流量計です。
流量計取付けのためのチューブ切断・施工が不要で、既設のチューブに挟み込むだけで流量計測ができます。- ・チューブサイズ 6 mm ～ 1"
- ・最大流量 80 L/min
- ・SFC010C：1ch形変換器、SFC011C：6ch形変換器
おすすめのアプリケーション
- ・枚葉式洗浄装置：DIW供給
- ・バッチ式洗浄装置：DIW供給
- ・ラッピング、CMP装置：スラリー供給ライン
- ・上記装置のメンテナンス用および改造用
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ガイド波式クランプオン超音波流量計
GST/SFC011GS
New小口径PFAチューブ用のクランプオン超音波流量計です。
流量計取付けのためのチューブ切断・施工が不要で、既設のチューブに挟み込むだけで流量計測ができます。- ・小口径チューブ対応：1/8" ～ 1/4"、4 ～ 6 mm
- ・微小流量対応：最小レンジ 0.5 L/min
- ・SFC011GS形変換器は6ch対応、最大6台までの検出器を接続可能
おすすめのアプリケーション
- ・コータデベロッパ装置：DIW、レジスト、シンナー、Lowk材、現像液等の供給
- ・枚葉式洗浄装置：DIW供給、HF供給（HF5%未満）
- ・上記装置のメンテナンス用および改造用
高精度タイプ
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超音波流量計 検出器
UCUF-E
小流量の超純水や各種薬液などの高精度計測用に設計されたPFA超音波流量計検出器で、SFC形変換器と組み合わせて使用します。接液部はすべてPFAで構成されたクリーン構造です。
- ・サイズ：4 mm, 6 mm
- ・精度：指示値の ±1%
- ・コネクタ構造の着脱式センサケーブルを採用
おすすめのアプリケーション
- ・枚葉式洗浄装置：薬液供給、DIW供給
- ・バッチ式洗浄装置：薬液供給、DIW供給
- ・CMP装置：スラリー供給ライン
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DINレール取付形 超音波流量計 変換器
SFC3000
UCUF検出器と組み合わせて使用するDINレール取付形変換器です。
デジタル信号プロセッサ（DSP）等の最新の電子技術を採用し、半導体製造プロセスや薬液プロセス等で流体に含まれる気泡に対する影響を大幅に軽減しました。- ・出力：パルス、電流、警報
- ・通信：RS485
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パネルマウント形 超音波流量計 変換器
SFC4000
UCUF検出器と組み合わせて使用するパネルマウント形変換器です。
瞬時流量や積算流量、各種ステータスが表示できるほか、各種設定の確認・変更が可能です。デジタル信号プロセッサ（DSP）等の最新の電子技術を採用し、半導体製造プロセスや薬液プロセス等で流体に含まれる気泡に対する影響を大幅に軽減しました。- ・表示：バックライト付LCD
- ・出力：パルス、電流、警報
- ・通信：RS485
流量コントローラ
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分離形流量コントローラ
FC6000
PFA製UCUF形高精度超音波流量計、FCV形コントロール弁および超音波流量計用変換器搭載のFCA6000形コントローラで構成される分離形の流量コントローラです。超音波流量計検出器およびコントロール弁の選択により、広範囲の流量制御が可能です。
- ・流量範囲：最小 2.5 ～ 25 mL/min、最大 1 ～ 10 L/min
おすすめのアプリケーション
- ・枚葉式洗浄装置：薬液供給、DIW供給
- ・バッチ式洗浄装置：薬液供給、DIW供給
- ・ラッピング、CMP装置：スラリー供給ライン