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アプリケーション A-0008 010
MASSMAX コリオリ質量流量計
設置事例 []/[10]
アプリケーション
ワイヤソー装置用スラリーオイル測定
ワイヤソーとはその名の通りワイヤを使ったノコギリのことで、水晶や半導体シリコンの結晶をこのワイヤを使ってスライスカットする装置です。
装置内には細いワイヤが多数平行に張り巡らされており、これを水晶や半導体シリコンの結晶に高速で走るワイヤを擦りつけてスライスカットします。
しかしこのままワイヤをシリコン結晶に擦りつけると摩擦熱でワイヤ切れてしまいます。そこでオイルを使用するのですが、擦りつけるワイヤとシリコン結晶の間にオイルをたらし流す手法がこのワイヤソー装置の性能を大きく左右します。(カットの時間や仕上がりなど)
某一流食酢醸造メーカ殿
納入品の仕様
MMM1300C-S25/S40
ストレートツインチューブタイプ
MASSMAX評価のポイント
1. スラリオイルも問題なく測定可能
可動部のない構造で固形要素も問題ありません。
2. 高精度
測定液体の密度、粘度などに影響されずに質量流量計測できます。
3. 密度測定
スラリーオイルの濃度を監視できます。
ご採用台数
合計約100台
