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FC6000は高精度超音波流量計を流量センサに採用した分離形の流量コントロールシステムです。
流量コントローラFCA6000シリーズには超音波流量計変換部を内蔵しており、流量センサとコントロール弁の組合せでコンパクトなシステムを構成できます。
· コントロール弁:FCVシリーズ
· 超音波流量計検出器:UCUFシリーズ
· 流量コントローラ:FCA6000シリーズ
流量センサ・コントロール弁のラインナップの充実により広範囲の流量制御が可能です。また、プロセス接続部の流量センサ・コントロール弁と計測・制御部を分離することで、安全性を向上し、自由なレイアウトを可能としています。
半導体プロセスをはじめとする各種薬液の高度な流量管理等に最適です。
複一般的な超音波流量計は液体中に気泡が含まれると、超音波の受信感度が低下し流量計測が困難になります。FCA6000シリーズは実績のある独自の信号処理技術により、感度が低下した場合でも流量計測を可能にしました。さらに豊富なフィールド経験に基づき異常出力を判別して除外することで耐気泡性能が大幅に向上しています。また、流量計測の安定性も向上しています。
プロセス接続部の流量センサ・コントロール弁と計測制御部を分離することで液漏れなどに対する安全性が向上し、レイアウトも自由に選べます。
FCA6000シリーズは最小2.5~25mL/minから最大 1~10 L/min の流量まで対応できます。
FCA6000シリーズは従来機種の変換器より消費電流を削減しました。
EU EMC、RoHS2および低電圧指令に対応
(EMC 適合規格:EN61326-1:2013、EN61326-2-3:2013)
UCUFシリーズの接液部は極めて耐食性の高いPFAおよびPTFEを採用し、
半導体産業や薬液を扱う様々な産業での適用が可能です。
形式 | FCV-1000S | FCV-3000 |
---|---|---|
口径 | Φ3/8”、Φ1/2” | Φ1/4” |
流量レンジ | 最大 10 L/min 最小 200 mL/min |
最大 2 L/min 最小 2.5 mL/min |
流体温度 | 5 ~ 50 ℃ | |
流体圧力 | 0.3MPa max. | |
プロセス接続 | PTFE、PFAチューブエンド | |
測定精度 | ±1%(流速1m/s以上) ±0.01m/s 以内(流速1m/s未満) |
形式 | UCUF-04K | UCUF-06K | UCUF-10K | UCUF-04E | UCUF-06E | UCUF-04M | UCUF-06M |
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最大流量 レンジ |
3L/min | 8L/min | 10L/min | 3L/min | 8L/min | 2L/min | 8L/min |
公称口径 | 4mm | 6mm | 10mm | 4mm | 6mm | 4mm | 6mm |
接続口径 | Φ3/8” | Φ1/2” | Φ3/8” | Φ1/4” | Φ3/8” | ||
精度 |
流速 1m/s 以上:指示値の±1% 流速 1m/s 未満:±0.01m/s 以内 |
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流体温度 | 10 ~ 60℃ | 10 ~ 90℃ | |||||
接液部材質 | New PFAチューブエンド | PFAチューブエンド | |||||
構造 | 防噴流形(IP65) | ||||||
接続ケーブル | 同軸ケーブル(2 本) 外被材質PVC 長さ5m(標準) |
形式 | FCA6100 | FCA6200 | FCA6300 |
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出力信号 | 流量信号、流量警報、動作警報、パルス出力 | ||
入力信号 | 目標流量、制御開始/停止、積算リセット、センサ | ||
制御精度 |
流量 >30%FS:目標値の±3%、 流量 ≦ 30%FS:目標値の5% 応答時間3秒以内 |
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表示 |
バックライト付16 文字・2 段LCD (液晶表示) 警報表示:赤色LED×1 動作表示:緑色LED×1 |
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構造/取付 | 屋内配線 (IP20相当) / パネル取付 | ||
電源 | DC24V ±10% |