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GST/SFC011GSは小口径配管用のクランプオン超音波流量計です。既設のチューブを挟むだけで流量計測が可能な為、配管の施工が不要です。配管内は実質的にクリーンに保たれます。
半導体製造装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適です。
· 検出器:GST
· 変換器:SFC011GS
既設のチューブを挟むだけで流量計測可能
配管内に接触しない為、本質的にクリーン
SFC011GS 1台で最大6ラインを同時計測可能
複数台連結接続可能(渡り配線不要)
30msの演算処理
計測前にゼロ点調整を行うことで計測する流体に対して最適な条件で計測を開始できます。
・ 7Seg LED(赤色、4 桁)で瞬時流量、ステータスを表示
・ 瞬時流量の各種アナログ出力(形式により選択)
・ 周波数出力(1kHz F.S.)、エラー出力、瞬時流量上下限警報、積算流量出力、積算流量上限警報(オープンコレクタ)
・ RS-485通信でパラメータ設定や流量データを取得可能
· EMC適合規格: CISPR11:2009+A1:2010 Group1 ClassA、 EN61326-2-3:2013
· RoHS2対応
測定対象 | 純水、フォトレジスト、Low-K材、シンナー など (気泡を含まない液体) |
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口径 | 1/8”、1/4”、 φ4、φ5、φ6 |
流量レンジ | 最大 0 ~ 2.0 L/min 最小 0 ~ 0.5 L/min |
流体温度 | 常温 (±0.5℃) |
流体圧力 | 0 ~ 0.5 MPa |
プロセス接続 | クランプオン |
測定精度 | ±2% of R.D. (流量0.8 L/min以下は ±0.016 L/min) |
形式 | SFC011GS |
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チャンネル数 | 6 |
ディスプレイ | 4桁 (瞬時流量、状態) |
出力 |
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電源 | DC 24V ±10% |
構造 | IP20 相当 (屋内仕様) |
取付 | DINレール取付 |