P-820

パージメータ

P-820

P-810同様各種半導体装置に幅広く使用されています。 リードスイッチタイプの警報接点付きも製作します。

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記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

 

主な用途


半導体製造装置用

 

 

標準仕様

測定流体 気体全般
液体(水相当:密度1.0g/cm3 粘度1.0mPa・s のみ)
流量範囲 空 気 P-821 最小 : 0.5 ~ 5 mL/min(nor)
最大 : 12 ~ 60 L/min(nor)
P-823 最小 : 5 ~ 50 mL/min(nor)
最大 : 6 ~ 60 L/min(nor)
P-821 最小 : 5 ~ 50 mL/min
最大 : 0.4 ~ 2 L/min
P-823 最小 : 5 ~ 50 mL/min
最大 : 0.2 ~ 2 L/min
・流量範囲の換算方法は、P 形機能・選定について(TG-S0001)を参照
目盛範囲 10 : 1(一部10 : 2となります)
指示精度 P-823 : ±3 % F.S.
P-821 : ±5 % F.S.
流体圧力 最高0.8 MPa
流体温度 最高120℃( パッキン材質によって異なる)
材質 本体接液部 SCS14(標準), SUS316(電解研磨仕様)
テーパ管 耐熱ガラス
パッキン フッ素ゴム(最高120℃)
クロロプレンゴム(最高80℃)
各パッキン材質の最高流体温度は、一般的なデータであり、使用条件や環境によって変わることがあります。
取付板 SPCCまたはC2801P
カバー アクリル
接続規格/ 口径

Rc : 1/4"(標準), 1/8"
NPT : 1/4", 1/8"
SW : 1/4", 3/8"
VCR : 1/4", 3/8"

取付方法 パネルの前面ロックナット取付(標準)
ベゼルによるパネル取付
質量 約0.6kg(P-821)

 

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