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樹脂製本体でプロセスへの金属イオンの混入を低減しました。半導体製造プロセスの純水、超純水の計測に適します。警報接点付も対応します。
純水ライン用
測定対象 | 液体全般 |
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口径 | 1/2、3/4、1 |
流量レンジ | 最大:12 ~ 60 L/min 最小:1 ~ 10 L/min |
流体温度 | 80°C max. |
流体圧力 | 0.5MPa max. |
プロセス接続 | Rc、NPT |
測定精度 | ±5% F.S. |