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TC-3000は熱式の気体用質量流量計とコントロールバルブを組み合わせたマスフローコントローラです。気体用質量流量計部分には定評ある全量通過方式を採用し、使い易いプライスレベルを達成しました。圧力・温度の変化に影響されない質量流量計測で各種気体の流量を高精度制御します。
計測流体 | 気体全般 |
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口径 | 1/4、3/4、1 |
流量レンジ | 最大 0 ~ 800L/min(nor) 最小 0 ~ 2L/min(nor) |
流体温度 | 5 ~ 50℃ |
流体圧力 | 0.98MPa max. |
プロセス接続 | Rcネジ、SW |
測定精度 | ±2% F.S |