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デジタル表示、RS485通信!
TF-4000は、弊社のサーマル質量流量測定技術と豊富な経験を生かし開発した、 コンパクト・高コストパフォーマンスタイプのサーマルマスフローメータです。コンパクトながら視認性に優れたデジタル表示器を内蔵し、アナアログ/デジタル 出力も装備しています。現場指示のほか遠隔指示も可能です。各種装置組み込み用に最適です。
半導体分野、バイオケミカル、医療分野、各種精密機械分野。
測定対象 | 空気、窒素、酸素 |
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口径 | 1/4、3/8、1/2、3/4 |
流量レンジ |
最大 : 0 ~ 1000L/min(nor) 最小 : 0 ~ 2L/min(nor) |
流体温度 | 0 ~ 60℃ |
流体圧力 | 1.0 MPa max. |
プロセス接続 | Rc |
測定精度 | ±2% F.S. |