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TC-1000/2000は熱式の気体用質量流量計とコントロールバルブを組み合わせたマスフローコントローラです。一般用TC-1000と高圧用TC-2000形があります。圧力・温度の変化に影響されない質量流量計測で各種気体の流量を高精度制御します。
一般用TC-1000 | 高圧用TC-2000 | |
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測定対象 | 気体全般 | |
口径 | 1/4、3/8、1/2、3/4、1 | |
流量レンジ | 最大 300 ~ 500L/min(nor) 最小 5mL ~ 10L/min(nor) |
最大 20 ~ 100L/min(nor) 最小 50mL ~ 10L/min(nor) |
流体温度 | 5 ~ 50 ℃ | |
流体圧力 | 0.99 MPa max. | 10 MPa max. |
プロセス接続 | Rcネジ、SW、VCR、VCOなど | Rcネジ、NPT、SW |
測定精度 | ±1% F.S. (25℃基準) |