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流量サーマルマスフローメータTC-1000/2000

サーマルマスフローメータ TC-1000

TC-1000/2000カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

TC-1000/2000は熱式の気体用質量流量計とコントロールバルブを組み合わせたマスフローコントローラです。一般用TC-1000と高圧用TC-2000形があります。圧力・温度の変化に影響されない質量流量計測で各種気体の流量を高精度制御します。

特 長

  • · 各種ガスの一定流量確保
  • · マスフローメータと組み合わせて二種類のガスの比例混合
  • · 各種半導体製造プロセス
  • · 各種分析機器用
  • · 腐食性ガスラインの流量制御
  • · 新素材デバイス研究開発用

主な仕様

一般用TC-1000 高圧用TC-2000
測定対象 気体全般
口径 1/4、3/8、1/2、3/4、1
流量レンジ 最大 300 ~ 500L/min(nor)
最小 5mL ~ 10L/min(nor)
最大 20 ~ 100L/min(nor)
最小 50mL ~ 10L/min(nor)
流体温度 5 ~ 50 ℃
流体圧力 0.99 MPa max. 10 MPa max.
プロセス接続 Rcネジ、SW、VCR、VCOなど Rcネジ、NPT、SW
測定精度 ±1% F.S. (25℃基準)