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流量サーマルマスフローメータTF-5000/6000 シリーズ

サーマルマスフローメータ TF-5320

TF-5000/6000 シリーズカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

TF-5000/6000シリーズは気体用熱式質量流量計で、各種ガスの質量流量を圧力・温度などプロセス条件に依存せず、計測することができます。

最小フルスケール5mL/min(nor)、最大フルスケール500L/min(nor)、最高使用圧力32MPa までをカバーするラインアップで幅広いアプリケーションに対応します。

特 長

  • ・ワイドレンジ  

    5mL/min(nor) から500L/min(nor)、最高使用圧力32MPa までカバーする広い製品レンジで装置組み込みからプロセス制御まで幅広く対応します。

  • ・高精度  

    各種ガスの質量流量を±1.0% F.S. の高精度で計測します。

  • ・高信頼性

    熱理論に基づき長年培った流量計技術により信頼性と耐久性を保証します。

  • ・周辺機器  

    TM-2000 コンバータを完備、手軽にシステムを構成することができます。

主な仕様

測定対象 気体全般(ただし塩素、硫黄等腐食性ガスを含まない)
口径 1/4、3/8、1/2、3/4、1
流量レンジ 最大 : 0 ~ 500 L/min(nor)
最小 : 0 ~ 5m L/min(nor)
流体温度 5 ~ 50℃
流体圧力 0.98 MPa max. (高圧用:39.2 MPa max.)
プロセス接続 Rcネジ、NPT(F)ねじ、スウェジロック、VCR、JIS10Kフランジ
測定精度 ±1% F.S.(25℃基準)