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流量渦式フローセンサVF-3000

渦式フローセンサ VF-3000

VF-3000カタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

VF3000フローセンサは、コストパフォーマンスに優れたPFA製渦式フローセンサです。
シンプル＆クリーンな構造で、半導体製造プロセスの超純水、水、低粘度薬液等の流量管理に最適です。
5種類の流量レンジに加え、電流出力タイプ、パルス出力タイプ、表示・警報・電流出力タイプをラインナップし、用途によりお選びいただけます。

特　長

  • · 最小0.3 L/min、最大150 L/min までの流量域で測定が可能。
  • · クリーン構造
    ボディにはNew PFA（420HP-J）を採用。
    センサ部をOリングレス構造とした接液部オールPFAタイプ※をラインナップし、一層クリーン度が向上。
    液溜まりも極めて少ない構造となっています。
  • · 高信頼の流量検出方式
    実績のあるカルマン渦式を採用。可動部がなく、定期的な保守点検は必要ありません。
    出力信号は体積流量に比例し、補正の必要はありません。
  • · シンプルな構造で低圧力損失
    流路には渦発生体と渦検出体があるだけのシンプルな構造で、低圧力損失です。
  • · 超小形･軽量
    従来の流量計の概念を打ち破る超小形･軽量設計のフローセンサです。
  • · CE マーキング付
  • · 3つのタイプをラインナップ
    用途に合わせて機能を選択できます。
    表示・電流出力タイプ
    DC4 ～ 20mA 出力（3 線式）、LED 瞬時流量表示、警報出力2点（オープンコレクタ）
    電流出力タイプ
    DC4 ～ 20mA 出力（3 線式）
    パルス出力タイプ
    オープンコレクタ出力（アンスケールドパルス）
    • ※オールPFA タイプは、流量レンジ2.5 L/min、4 L/min および150 L/min モデルが対応。

主な仕様

測定対象 超純水、純水、水、低粘度薬液
口径 3/8" ～ 1"
流量レンジ VF-30□0　0.3 ～ 2.5L/min
VF-30□1　0.5 ～ 4L/min
VF-30□2　2 ～ 16L/min
VF-30□3　4 ～ 40L/min
VF-30□5　15 ～ 150L/min
流体温度 0 ～ 90℃
流体圧力 0 ～ 0.5 MPa
プロセス接続 PFA チューブエンド または 各種PFA継手
測定精度 ±3% F.S.