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UCUF-02M/SFC-010Lは液体用超音波流量計です。 純水、超純水や各種薬液などの微小流量を高精度測定できます。 測定管路の口径は2.5 mm で、従来のUCUF 形超音波流量計では測定が難しかった微小流量域を広くカバーします。 接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、可動部が全くなく、液溜まりを生じやすいシール部もない理想的なクリーン構造で、半導体製造装置などのクリーン度が要求されるプロセスに最適です。 流量計の入口、出口部は規格寸法のチューブになっており、各種PFA継手への接続が可能です。
測定対象 | 液体全般 (気泡を含まない液体およびPFAを透過または侵食しないこと) |
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口径 | 1/4" |
流量レンジ | 最大 0 ~ 100 mL/min 最小 0 ~ 10 mL/min ※フルスケール設定は10 mL/min STEPとなります |
流体温度 | 10 ~ 90℃ |
流体圧力 | 0 ~ 0.5 MPa |
プロセス接続 | PFAチューブエンド |
測定精度 |
±1% RD (25mL/min以上) ±0.25 mL/min (25mL/min未満) ※但し20℃の水を流した場合 |
形式 | SFC-010L |
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ディスプレイ | 4桁LED、瞬時流量 (mL/min) |
出力 |
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電源 | DC 24 V ±10 % |
構造 | IP20 (屋内仕様) |
取付 | DINレール取付 |