-
流量計測・制御機器
-
液面計測・制御機器
-
関連機器
製品カタログ
QRコード
※このページをスマホで閲覧する場合にご利用ください。
UCF006はコンパクトモデルの超音波流量モニタです。 流量測定部をストレート構造にすることで、半導体プロセスにおいて問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減したことを特徴としております。 また、ストレート管路のため、圧力損失がほとんど無く、ラインの圧力低下を軽減できます。 さらに時間分解能の向上と信号処理の高速化により従来製品と比較して低流量域で計測の安定度が向上しました。 半導体製造装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適です。
液体中に気泡が混入すると超音波の伝播が阻害され、流量計測が不安定になります。本製品は、流量測定部をストレート構造にすることで、流量計測の安定性を向上させる事に成功しました。
ストレート管路のため、圧力損失がほとんど無く、ラインの圧力低下を軽減
検出器と変換器を一体構造にすることで、省スペース化を実現
EMC:EN61326-1:2013
RoHS対応
測定対象 | 水 |
---|---|
口径 | 3/8"(外形寸法 … φ9.53、内径寸法 … φ6.35) |
流量レンジ | 0 ~ 8000 mL/min |
流体温度 | 10 ~ 80℃ (周囲温度 0 ~ 50℃) |
流体圧力 | 0 ~ 0.5 MPa |
プロセス接続 | PFAチューブエンド |
測定精度 |
±2% R.D.(1700mL/min以上) ±34mL/min(1700mL/min未満) (ただし20℃の水を流した場合) |