TF-5000/6000 シリーズ

概要

TF-5320

各種気体流量を圧力･温度に依存せず、高精度質量流量計測します。電源、指示計、パネル計器など周辺機器もパーフェクトな品揃えでサポートします。

・ワイドレンジ
・高精度：±1.0%F.S.
・高信頼性
・豊富な周辺機器

測定流体

気体全般(ただし塩素、硫黄等腐食性ガスを含まない)

流量レンジ
（N2）

最大 : 0 ～ 500 L/min(nor)
最小 : 0 ～ 5mL/min(nor)

流体圧力

最大 0.98MPa(高圧用：最大 39.2MPa)

流体温度

5 ～ 55℃

応答性能

90%応答3秒以内

プロセス接続

接続継ぎ手 :

Rc1/4, 3/8, 1/2ネジ, 1/4, 3/8,1/2NPT(F)ねじ, スウェジロック,
VCR, VCO
15A, 20A, 25AJIS10Kフランジ

材質

管路 : 標準SUS316
シール : FKMまたはCR

精度

±1%F.S.(25℃基準)

TF-5000/6000の詳細仕様を記載したテクニカルガイダンスを以下よりダウンロードできます。

記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。