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大流量タイプサーマルマスフローメータ

TF-4100 シリーズ

概要

TF-4100シリーズは、弊社のサーマル質量流量測定技術と豊富な経験を生かし開発した､ 大流量・高コストパフォーマンスタイプのサーマルマスフローメータです。
主管部材質はアルミ合金とステンレスから選択可能です。
低価格ながら視認性に優れたデジタル表示器(固定形､回転形)を内蔵し､アナアログ/デジタル 出力も装備しています。現場指示のほか遠隔指示も可能です。
各種装置組み込み用に最適です。

特　長

・4000L/min(nor)、8000L/min(nor)、16000L/min(nor) の大流量タイプをシリーズ化
・主管部は軽量なアルミ製､耐食性に優れたステンレス製が選択可能
・主管部と一体形の構成でシンプルかつコンパクト化
・整流装置内蔵で、短直管部
・温度､圧力変化に影響されない熱式質量流量測定方式
・デジタル表示付の一体形構造、認視性に優れたLED表示
・表示部を流れの方向に合わせて回転可能(50Aは除く)
・デジタル、アナログインターフェース付
・デジタル回路構成と校正システムの確立でコスト低減
・オープンコレクタ出力は、積算パルス・警報出力が選択可能
・積算率・警報値の設定が可能、さまざまなアプリケーションへ対応可能
・保護構造がIP64相当で、使用周囲環境条件を向上
・90%応答が1秒以内の高速応答
・電源はシーケンサに適合したDC12〜２４V
・CEマーキングに対応

特　長

・FPD製造装置
・半導体製造装置
・空調設備等の大流量ライン

主な仕様

測定対象	空気、窒素
流量レンジ	0 〜 4,000 L/min(nor) /口径25A 0 〜 8,000 L/min(nor) /口径40A 0 〜 16,000 L/min(nor)/口径50A
温度範囲	0 〜 60℃
圧力範囲	0.1 〜 1.0MPa
温度･圧力影響	±0.1%F.S./℃・±0.1%F.S./0.1MPa
プロセス接続	Rc1、1-1/2、2(めねじ)
接ガス部材質	本体 : A6061-T6 または SCS13 センサ : SUS316、ガラス、白金イリジウム シール : フッ素ゴムおよびNBR
表示	5桁赤色LED 7セグメント : 瞬時流量、積算流量、設定値およびエラーコード 赤色LED 2個:警報
出力	瞬時流量 : DC4〜20mA、DC0〜5V（いずれか選択) 積算流量 : オープンコレクタパルス デジタル : RS485 警報 : オープンコレクタ
応答性	90%応答 1秒以内
精度	表示 : ±2 %F.S. ±1digit 出力 : ±2.0 %F.S. 積算 : 0.2〜10.0%F.S.×min/パルス (設定可能)
ローカット	5%F.S.
電源	DC12 〜 24V、最大200mA
保護構造	IP64相当
CEマーキング	表示器回転タイプのみ

TF-4100　カタログダウンロード

TF-4100の詳細仕様を記載したテクニカルガイダンスを以下よりダウンロードできます。

TF-4100 カタログPDF

記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。