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ミニサーマルマスフローメータ

TF-1000

概要

TF-1000シリーズは各種気体の流量を、温度・圧力の変化を受けずに計測する熱式質量流量計です。全量通過方式のシンプルなデザインで手軽なプライスレベルを達成し、マスフローメータの用途を拡大しました。

特　長

・温度・圧力の補正不要の熱式質量流量計測方式
・最小0〜2L/min(nor)から最大0〜750m³/h(nor)をカバーするワイドな流量範囲
・可動部が無く高耐久性
・高速応答(90%応答 0.5秒以内)
・上下流側直管長が短い配管レイアウト(整流器内臓)
・全量通過方式で手軽なメンテナンス

おすすめ用途

・各種機器組み込み
・小口径ガスサプライライン
・その他のガスライン

ラインアップと仕様

小口径センサミニコンバータユニットTM-2000と組み合わせて使用します。

基本形式	TF-1000P	TF-1000S	TF-1100	TF-1200
外観
タイプ	コンパクト､非防水構造			防水構造
計測流体	気体全般 ただし水素､ヘリウムの一部に制限があります
プロセス接続	Rc1/4	Rc1/4､OD1/4B SWL	Rc1/4､3/8､1/2､3/4、OD1/4B､3/8B､ 1/2B､3/4B SWL、15A､20A､ 25A JIS10Kフランジ
ガス温度	0 〜 60℃ (ポリアセタール本体製は 0 〜 50℃)
ガス圧力	-0.07 〜 1.0MPa
流量レンジ	最小: 0 〜 2 L/min(nor) 最大: 0 〜 120 L/min(nor)		最小: 0 〜 2 L/min(nor) 最大: 0 〜 1000 L/min(nor)
管路材質	ポリアセタール､PFA､SUS316	SCS14､PFA,SUS316	SUS316､PFA
センサ材質	SUS304（SCS14）､SUS316､ガラス､白金イリジウム､CTFEの組合せ
シール材質	フッ素ゴムまたはCR
精度	±2.0%F.S.(25℃基準)
出力	DC0 〜 5V または DC4 〜 20mA
電源	DC±12(15)V +150mA､-20mAまたは DC24V 150mA

 

小口径センサミニコンバータユニットTM-2000と組み合わせて使用します。

基本形式	TF-1300	TF-1400	TF-1501
外観
タイプ	低圧力損失､非防水構造	低圧力損失､防水構造	指示形付､防水構造
計測流体	気体全般 ただし水素､ヘリウムの一部に制限があります
プロセス接続	Rc1/2､3/4､1 15A､20A､25A JIS10Kフランジ		Rc1/4､3/8､1/2､3/4､OD1/4B､3/8B､1/2B､3/4B SWL、15A､20A､25A JIS10Kフランジ
ガス温度	0 〜 60℃
ガス圧力	-0.07 〜 1.0MPa
流量レンジ	最小: 0 〜 150 L/min(nor) 最大: 0 〜 1000 L/min(nor)		最小: 0 〜 2 L/min(nor) 最大: 0 〜 1000 L/min(nor)
管路材質	SUS316		SUS316､PFA
センサ材質	SUS316､ガラス､白金イリジウム､CTFEの組合せ
シール材質	フッ素ゴムまたはCR
精度	±2.0%F.S.(25℃基準)
出力	DC0 〜 5V または DC4 〜 20mA		DC4 〜 20mA
電源	DC±12(15)V +150mA､-20mAまたは DC24V 150mA		AC85 〜 240V 4VA

 

中〜大口径センサミニコンバータユニットTM-2000と組み合わせて使用します。

基本形式	TF-1150	TF-1250	TF-1551
外観
タイプ	非防水構造	防水構造	指示形付､防水構造
計測流体	気体全般 ただし水素､ヘリウムの一部に制限があります
プロセス接続	Rc1､1-1/4､1-1/2､2､2-1/2､3 25A､32A､40A､50A､65A､80A JIS10Kフランジ
ガス温度	0 〜 60℃
ガス圧力	-0.07 〜 1.0MPa
流量レンジ	最小: 0 〜 30 m3/min(nor) 最大: 0 〜 750 m3/min(nor)
管路材質	SUS316
センサ材質	SUS316､ガラス､白金イリジウム､CTFEの組合せ
シール材質	フッ素ゴムまたはCR
精度	±2.0%F.S.(25℃基準)
出力	DC0 〜 5V または DC4 〜 20mA		DC4 〜 20mA
電源	DC±12(15)V +150mA､-20mAまたは DC24V 150mA		AC85 〜 240V 4VA

TF-1000　カタログダウンロード

TF-1000の詳細仕様を記載したテクニカルガイダンスを以下よりダウンロードできます。

TF-1000 カタログPDF

記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。