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マスフローメータ

HM5000

概要

HM5000は気体用のマスフローメータです。
汎用、高性能の2タイプがあり、用途・目的に合わせて選択できます。

特　長

・最小5mL/min(nor)から最大 400L/min(nor)の広い流量レンジに対応します。
・温度･圧力の変化に影響されない質量流量計測です。
・幅広いラインアップでご要望に応えます。
・ハイブリッドIC化により信頼性向上と小型化を実現しました。

用　途

・一般工業プロセス
・各種化学分析
・半導体製造プロセス
・装置組込み

主な仕様

タイプ	汎用  HM5122B HM5123B	高性能  HM5111B HM5112B HM5113B
測定対象	気体全般
流量レンジ	最小0 〜 5mL/min(nor) 最大0 〜 400 L/min(nor)
温度範囲	5 〜 45℃
圧力範囲	最高　0.97MPa
プロセス接続	標準1/4"〜1/2"SW (オプション 1/4"〜1/2"VCR、VCO)
材質	管路　SUS316　　シール　フッ素ゴム(バイトン、テフロン)
電源	専用電源使用
出力	DC0-5V
精度	±2%　F.S.	±1.5%　F.S.
応答時間	3秒以内(98%　F.S.)

HM5000　カタログダウンロード

HM5000の詳細仕様を記載したテクニカルガイダンスを以下よりダウンロードできます。

HM5000 カタログPDF

記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。