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流量パージメータP-880

パージメータ P-880

P-880カタログPDF

製品ご選定のアドバイスカタログPDF

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

P-880は超微小流量の計測を可能とした気体計測用面積流量計です。 また、従来製品のP-100/200/810/820 シリーズのバルブを精密に流量制御出来る様に改良いたしました。
超微小流量の計測・流量制御に適した流量計です。

主な用途

1) 機器組込み
2) バイオ産業
3) 半導体関連ガス機器

標準仕様

測定対象 気体全般
口径 Rc : 1/4"(標準)、1/8"
NPT :1/4"、1/8"
SW : 1/4"相当、3/8"相当
VCR : 1/4"相当、3/8"相当
流量レンジ
空気 : 
最大 6 ~ 60 L/min(nor)
最小 0.15 ~ 1.5 mL/min(nor)

・流量範囲の換算方法は、P形機能・選定について(TG-S0001)を参照
・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照
流体温度 最高 120℃ (パッキン材質によって異なる)
流体圧力 最高1MPa
プロセス接続 Rc、NPT、SW、VCR
測定精度 ± 5 % F.S.