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P-830 は従来のパージメータの構造、材質を検討・改良し、耐熱130℃をクリアーしました。
半導体製造装置冷却水ライン
測定対象 | 液体(水相当:密度1.0g/cm³ 粘度1.0mPa・s) |
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口径 |
Rc : 3/8" NPT : 3/8" SW : 3/8"(標準) |
流量レンジ |
・流量範囲の換算方法は、P形機能・選定について(TG-S0001)を参照 ・流量目盛を選択の際は、標準流量表を参照 |
流体温度 | 最高130 ℃ |
流体圧力 | 1 MPa max. |
プロセス接続 | Rc、NPT、SW |
測定精度 | ±10% F.S. |